液晶・半導体真空製造装置の高密度アルミニウム陽極酸化皮膜開発メーカー

中国電化工業 株式会社

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近年、液晶・半導体製造装置における真空関連部材には、アルミニウム又はアルミニウム合金部材が用いられており、従来以上の耐食性や耐プラズマ性が求められてきた。
弊社が開発した陽極酸化被膜は、表層に緻密な水和酸化物層(約1μm)を形成することにより、CIやF等のハロゲン元素を含む腐食性ガスに対する耐食性、ハロゲン系のプラズマに対する耐プラズマ性や耐熱性、アウトガス性等の優れた高耐食性の皮膜を開発した。

 
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社名 中国電化工業 株式会社
フリガナ チュウゴクデンカコウギョウ
住所〒747-0833 山口県防府市大字浜方字古浜62-1
担当部署 営業部
TEL 0835-22-2810 FAX 0835-23-2971
主な加工技術とセールスポイント

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表面処理 電気メッキからアルマイトまであらゆるものに
研磨・ラッピング・バフ 電解研磨(ステン・チタン等)
主な対応材料
アルミニウム チタン マグネシウム - -
加工事例
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主要設備

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1 半自動アルマイト装置 2 半導体装置用特殊アルマイト装置
3 硬質アルマイトタフラム処理装置 4 硬質クロムメッキ装置
5 無電解ニッケル装置 6 着色アルマイト装置
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