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液晶・半導体真空製造装置の高密度アルミニウム陽極酸化皮膜開発メーカー
中国電化工業 株式会社
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近年、液晶・半導体製造装置における真空関連部材には、アルミニウム又はアルミニウム合金部材が用いられており、従来以上の耐食性や耐プラズマ性が求められてきた。
弊社が開発した陽極酸化被膜は、表層に緻密な水和酸化物層(約1μm)を形成することにより、CIやF等のハロゲン元素を含む腐食性ガスに対する耐食性、ハロゲン系のプラズマに対する耐プラズマ性や耐熱性、アウトガス性等の優れた高耐食性の皮膜を開発した。
社名
中国電化工業 株式会社
フリガナ
チュウゴクデンカコウギョウ
住所
〒747-0833 山口県防府市大字浜方字古浜62-1
担当部署
営業部
TEL
0835-22-2810
FAX
0835-23-2971
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